CVD气相沉积炉
产品描述
为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这处CVD称为等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）可根据客户需求设计尺寸，能满足超大型工件化学气相沉积处理需求；采用先进的控制技术，能精密控制MTS的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强；多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理；新设计防腐蚀真空机组，持续工作时间长，维修率极低。
技术参数
型号 | 炉膛尺寸（mm) | 加热区长（mm） | 额定功率(KW) | 最高温度(℃） | 加热元件 |
SL-CVD-40 | Ф40*1200(mm) | 200(mm) | 2KW | 1100℃ | 电阻丝 |
SL-CVD-60 | Ф60*1500(mm) | 400(mm) | 3KW | 1100℃ | 电阻丝 |
SL-CVD-80 | Ф80*1500(mm) | 400(mm) | 3kw | 1100℃ | 电阻丝 |
SL-CVD-60ll | Ф60*1800(mm) | 300+300(mm) | 6KW | 1100℃ | 电阻丝 |
SL-CVD-80ll | Ф80*1800(mm) | 300+300(mm) | 6KW | 1100℃ | 电阻丝 |
SL-CVD-100 | Ф100*1200(mm) | 300(mm) | 7kw | 1100℃ | 电阻丝 |
SL-PECVD-40 | Ф40*1500(mm) | 200(mm) | 2KW | 1100℃ | 电阻丝 |
SL-PECVD-60 | Ф60*1800(mm) | 400(mm) | 3KW | 1100℃ | 电阻丝 |
SL-PECVD-80 | Ф80*1800(mm) | 400(mm) | 3KW | 1100℃ | 电阻丝 |
SL-PECVD-60ll | Ф60*2200(mm) | 300+300(mm) | 6KW | 1100℃ | 电阻丝 |
备注：真空及多路气体可选配 联系电话：18888180299 微信号：18717752868
关键词：管式炉，CVD气相沉积炉 ，真空管式炉 ，立式管式炉，回转管式炉，
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